mtorr

原创:蠐鶽 学习知识 2023-03-25

Mtorr是压力单位,是托(torr)的一种。托(torr)是指压强为1毫米汞柱(mmHg)的气体压强单位。mtorr在一定的温度下,气体压强越大,说明气体分子与容器壁的碰撞次数越多,分子的平均动能也越大。

Mtorr是托(torr)的一千分之一,也就是说1 mtorr等于0.001 torr。在实验室中,通常使用mtorr来表示极低压强,例如真空条件下的气体压强。因为当气体压强很低时,托的单位会太大,不太方便表示,而使用mtorr单位则可以更加精确地描述低压状态下的气体压强。

Mtorr的使用非常广泛。在真空科学和技术中,它是一个非常重要的压力单位。例如,在半导体制造过程中,需要将反应室中的气体压力降至极低的水平,才能进行精细的沉积和刻蚀。此时,通常需要控制气体压强在几个mtorr以下,才能得到理想的半导体材料。

另外,Mtorr单位还常常用于描述真空泵的抽气能力。真空泵是一种用于抽取气体分子,从而形成低压或高真空的装置。不同的真空泵具有不同的抽气速率和极限压力。一般情况下,抽气速率和极限压力是根据气体压强在不同范围内的变化来描述的。在高真空范围内,Mtorr单位是一种常用的描述方式,例如极高真空(UHV)条件下,真空压力通常需要达到10-9mtorr以下。

Mtorr是一个非常重要的压力单位,特别适用于描述极低压力条件下的气体压强。在实验室、半导体制造、真空技术等领域,Mtorr单位的使用非常普遍。


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